환경을 생각하는
Cassette에 공급된 Glass를 Up/Down Stage에 안착 후, Robot를 이용해 Glass를 1장 단위로 Carrier Station에 공급하며, Glass의 박막 공정(Sputtering Process) 장비에 공급하고 증착 된 Glass를 취출하는 Handling System
항목 | 사양 |
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장비 규격 | 고객사양 |
Glass 규격 | 고객사양 |
Tact Time | 고객사양 |
기본 Unit | Turn Drive -Servo Motor+정밀감속기 Align -Table Cylinder Glass 안착+Support 재질 -Peek |
전원 | 3¢, AC220V±10%, 60㎐, 1종 접지 |
공압 & 정전기 | CDA 5㎏/㎠/±0.1㎸ 이하 |
청정도 | Class 100 |
제어 System | PC & PLC & CIM |
항목 | 사양 |
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기본 Unit |
기본 사양 : 회전형 Carrier Station
회전 Index motor
1) Maker : Weiss 2) Model : TC700-T 3) 회전 동작 時 반복 오차 정밀도 : ± 0.3mm Carrier Roller 1) Roller 재질 : STS304 2) Roller 형상 : U-Type 3) Carrier 정지 오차 정밀도 : ±1mm 4) 이송 속도 : 400mm/sec 이상 5) 구동 Motor : Servo motor Top Guide 1) Carrier Top Guide : Magnet 방식 2) Magnet & Carrier Gap : 좌, 우 5mm 이상 3) Carrier 위치 조정 (4ea) - 좌, 우 센서 (Carrier 위치 정렬) - 중앙 센서 ( Carrier 속도 조절) |