시스템 사업본부

환경을 생각하는

Clean World High Technology

ITO Sputter Glass Handling System

개요

Cassette에 공급된 Glass를 Up/Down Stage에 안착 후, Robot를 이용해 Glass를 1장 단위로 Carrier Station에 공급하며, Glass의 박막 공정(Sputtering Process) 장비에 공급하고 증착 된 Glass를 취출하는 Handling System

장비구성

장비사양

항목 사양
장비 규격 고객사양
Glass 규격 고객사양
Tact Time 고객사양
기본 Unit Turn Drive -Servo Motor+정밀감속기 Align -Table Cylinder Glass 안착+Support 재질 -Peek
전원 3¢, AC220V±10%, 60㎐, 1종 접지
공압 & 정전기 CDA 5㎏/㎠/±0.1㎸ 이하
청정도 Class 100
제어 System PC & PLC & CIM

장비구성

장비사양

항목 사양
기본 Unit 기본 사양 : 회전형 Carrier Station 회전 Index motor 1) Maker : Weiss
2) Model : TC700-T
3) 회전 동작 時 반복 오차 정밀도 : ± 0.3mm
Carrier Roller 1) Roller 재질 : STS304
2) Roller 형상 : U-Type
3) Carrier 정지 오차 정밀도 : ±1mm
4) 이송 속도 : 400mm/sec 이상
5) 구동 Motor : Servo motor
Top Guide 1) Carrier Top Guide : Magnet 방식
2) Magnet & Carrier Gap : 좌, 우 5mm 이상
3) Carrier 위치 조정 (4ea)
- 좌, 우 센서 (Carrier 위치 정렬)
- 중앙 센서 ( Carrier 속도 조절)